PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀-北京漢達森

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

產品應用領域：
半導體制造
醫(yī)學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學

訂購信息：

P-363.2CD PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

應用領域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動 導向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可 實現極低的排氣率。

PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀-北京漢達森